陆芯详解半导体晶圆切割机主轴分类

半导体晶圆切割机主轴采用空气静压支承的电主轴。现在所使用的主轴有两类：分别是交流主轴，及直流主轴。

两类主轴从结构上有以下区别：直流主轴电动机的结构和普通直流电动机的结构基本相同。

其主要区别是：在主磁极上除了绕有主磁极绕组外，还绕有补偿绕组，以便抵消转子反应磁动势对气隙主磁通的影响，改善电动机的调速性能;直流主轴电动机都采用轴向强迫通风冷却或热管冷却，以改善冷却效果。直流主轴电动机在基本速度以下为恒转矩范围，在基本速度以上为恒功率范围，直流主轴主要采用晶体管脉宽调制调速系统调速，一般会装有用于反馈的检测元件。

而交流主轴电动机是经过专门设计的鼠笼三相异步电动机。与直流主轴电动机相类似，在基本速度以下为恒转矩区，在基本速度以上为恒功率区。当速度超过一定值后，功率-速度特性曲线会向下倾斜。交流主轴电动机广泛采用矢量控制调速方法进行速度控制。由于结构上的差别造成直流主轴的转速控制精度较高（通过反馈补偿转速），主轴工作时震动量较小，划切效果较好，但其扭矩相对同功率交流主轴偏小，对较厚、硬的玻璃、陶瓷和键和材料划切，切削力不足。

其切割领域主要针对硅晶圆，砷化镓，氧化物晶圆等。交流主轴扭矩较大，震动偏大，主要针对LED基板、生陶瓷、新型电子封装等较硬，精度要求不高的产品加工。